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成都成净高科净化设备有限公司

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光电行业空气净化解决方案

2014-2-17 9:54:17点击:
空调净化的设计是与工艺的布局、生产的流程密切结合的。不同类型、不同用途的厂房空调净化系统都各有特点,下面来介绍光伏新能源硅晶片生产工序的空调净化系统方案。

2.1 空调系统
1 切片室、倒角室、研磨片室仅有温度控制要求,设风冷热泵分体柜式空调机(PAC)来保证房间温度要求,室内机就近放置在车间内,接风管,采用双层百叶风口侧送风方式;室外机放置在屋面上。切片室的排风量较大,新风采用直接蒸发式热泵型屋顶空调机S1-1和S1-2来补充。车间有防尘要求,风冷热泵分体柜式空调机回风口处设中效过滤器(大气尘计数效率:≥60%,对于≥1μm 粒子),同样屋顶式空调机需设两级过滤器。
其原理图见图:

2 炉室、BSD室仅有温度控制要求,设风冷电热分体柜式空调机(PAL)来保证房间温度要求,室内机就近放置在车间内,接风管,采用方形散流器顶送风方式;室外机放置在屋面上。新风由相邻洁净室正压过来。车间有防尘要求,风冷电热分体柜式空调机回风口处设中效过滤器(大气尘计数效率:≥60%,对于≥1μm粒子)。
3 磨片检查室有温度和湿度控制要求,设风冷电热分体柜式空调机(PAL)来保证房间温度要求,室内机就近放置在车间内,接风管,采用方形散流器顶送风方式;室外机放置在屋面上。新风经新风机组(MAU-1、2)处理后,接至送风管上送到室内,相对湿度由新风机组来保证。新风机组是与净化系统共用的。车间有防尘要求,风冷电热分体柜式空调机回风口处设中效过滤器(大气尘计数效率:≥60%,对于≥1μm粒子),新风机组内设粗、中效过滤器。

2.2 净化系统
光伏新能源净化工程系统用的新风空调机组(MAU)和循环空调机组(AHU)的冷媒采用6-11℃的冷冻水,加热采用0.2MPa蒸汽,加湿采用0.1MPa的洁净蒸汽加湿,洁净蒸汽由纯水经洁净蒸汽发生器产生。
1 CP室净化级别为7级,换气次数取为30次/小时,CP室工艺设备用酸量较多,采用全新风空调机组(MAU-3)+高效过滤器送风口(HEP-ABOX)的空调方式。其气流流程为:新风入口-粗效过滤器-中效过滤器-预加热器-表冷器-加热器-洁净蒸汽加湿-送风机-送风管-高效过滤器送风-洁净区。
2 ML室净化级别为7级,换气次数取为30次/小时,采用新风机组(MAU)+循环机组(AHU)+高效过滤器送风口(HEP-ABOX)的空调方式。新风接自其它系统共用MAU-1、2新风组。
3 CP/CVD室、LP/CVD室、洁净包装间净化级别为6 级,换气次数取为50次/小时,采用新风机组(MAU)+循环机组(AHU)+高效过滤器送风口(HEP-ABOX)的空调方式。新风接自其它系统共用的MAU-1、2新风组。
4 7级、6 级的洁净室采用的气流形式为顶部高效过滤器送风口送风,房间侧下百叶风口回风。其气流流程为:新回风混合!中效过滤器-表冷器-送风机-送风管-高效过滤器送风口-洁净区-房间侧下百叶回风口-回风管-新回风混合。


5 洗净室、品质检查室净化级别为7 级,采用新风机组(MAU)+循环机组(AHU)+风机过滤器单元(FFU))的空调方式。采用的气流形式为顶部FFU送风,房间侧下百叶风口回风。FFU满布率为33%,洗净室、品质检查室对NH4+、SQx浓度有要求,需在循环机组(AHU)内增设化学过滤器。5级净化间的气流流程为:新回风混合-化学过滤器(NH4+)-化学过滤器(SQx)-中效过滤器-表冷器-送风机-送风管-送风静压箱-风机过滤器单元(FFU)-洁净区-房间侧下百叶回风口-回风管-新回风混合。新风接自其它系统共用的MAU-1、2新风组。
6 除CP室外的洁净室所需新风采用2台新风机组(MAU-1、2)集中处理,新风集中处理后送至各循环机组(AHU)。其气流流程为:新风入口-粗效过滤器-中效过滤器-预加热器-表冷器-加热器-洁净蒸汽加湿-送风机-送风管-各循环空调机组(AHU)。
7 CP室、ML室、洗净室用酸量相对较多,CP室、ML室内的高效过滤器送风口的扩散板需采用不锈钢板制作,洗净室内的FFU的网板需采用不锈钢板制作。
8 另需注意,品质检查室根据工艺要求需采用黑色墙板、黑色顶板,相应采用黑色回风口,FFU的网板需采用黑色网板。

3、净化系统的空调自动控制